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无油螺杆真空泵的工作原理：
1.吸气：当阴阳螺杆同步旋转时，齿间的容积逐渐扩大，从而使气体通过进气口进入泵腔内。
2.压缩：随着螺杆的啮合，气体被推进至排气端，容积逐渐缩小，导致气体压力升高。
3.排气：压缩后的气体通过排气口排出，完成整个工作循环。
在无油的实现方式上，螺杆与泵腔之间保持微小的间隙(约0.1-0.3mm)，通过同步齿轮驱动，避免了螺杆与泵腔的接触。密封结构(如机械密封与双唇形密封)有效防止了润滑油进入工作腔，确保了工作的无油特性。
应用场景
无油螺杆真空泵在多个领域中都有广泛的应用，以下是几个典型场景：
1.半导体与电子行业
在芯片制造过程中，真空镀膜和蚀刻工艺对设备的洁净度要求非常高。无油螺杆真空泵能够有效抵御粉尘和腐蚀性气体，确保生产环境的清洁。
2.化工与制药行业
在蒸馏、干燥和脱气等过程中，使用无油螺杆真空泵可以避免溶剂的污染，尤其在处理甲苯、盐酸气等化学品时，能够有效保证产品的质量。
3.食品与医疗行业
在真空包装和药品冻干等应用中，无油设计符合GMP标准，能够确保食品和药品的安全性和有效性。
4.环保与新能源领域
在锂电池注液和污水处理曝气等过程中，采用无油螺杆真空泵不仅能有效降低能耗，还能减少噪音，符合环保要求。
