GSV210-30无油螺杆真空泵核心特点
1.无油清洁设计
无油螺杆真空泵的工作腔内没有润滑油,避免了油污染问题。这一设计使其能够满足电子、医药、食品等高洁净行业的需求。设备可以直接排出清洁气体,支持气体的回收利用,提升资源的利用效率。
2.高适应性与可靠性
该设备采用双螺杆的非接触式设计,减少了摩擦损耗,从而延长了使用寿命。以某些德国机型为例,其使用寿命可达到两万小时。表面防腐涂层(如镍磷、PTFE)保证了设备在腐蚀性气体、粉尘及水蒸气环境下的稳定性。
3.高效节能
无油螺杆真空泵的单台极限真空度可达到1Pa,抽速范围宽广。例如,RSE602型的抽速可达500m³/h。由于没有内压缩过程,设备的能耗显著低于传统的水环泵或油封泵,节水效果超过90%。
4.模块化集成
该设备可以与罗茨泵、分子泵等组成无油真空机组,进一步提升极限真空度至10⁻⁵Pa。部分机型集成了水冷系统,降低排气温度,从而避免转子变形,这在高温工况下尤为重要。
应用领域
半导体与光伏
用于晶圆制造、镀膜、刻蚀等工艺,提供无油、无颗粒的真空环境。
化工与制药
回收有机溶剂、脱气、蒸馏等,避免油污染导致的产品质量下降。
新能源
锂电池生产中的干燥、注液等环节,确保电池性能和安全性。
环保与能源
废气处理、油气回收,减少环境污染和资源浪费。
食品与包装
真空包装、脱氧干燥,延长食品保质期。